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- 概要
- パラメータ
- 特徴
- 問い合わせ
- 関連製品
SemiPOLは、様々な材料（集積回路、半導体ウェハ、光学部品・光ファイバー、岩石構造物、精密金属部品など）の精密研削・研磨加工が可能で、顕微鏡（SEM、FIB、TEMなど）による分析に使用できます。目標精度はミクロンレベルに達します。主に平行研削・研磨、定量薄化、連続スライスなどの精密加工に使用されます。豊富な付属品や治具を組み合わせることで、複雑形状や特殊形状の部品の研削・研磨加工をより容易かつ便利に行うことができます。
SemiPOLは、材料除去量をリアルタイムで監視したり、研削量を設定して無人運転を実現したりできます。サーボ駆動モーターは、位置決めヘッドの回転速度と振幅を制御し、研削・研磨の平坦度と仕上がりを向上させます。
製品詳細
1、7インチLCDタッチスクリーンパネルは、取り外しをリアルタイムで表示し、インターフェースはシンプルでわかりやすく、操作が便利です。
2、16セットのプロセスパラメータを保存および編集できます。
3、サイズ：8インチ（Ф203mm）または10インチ（Ф254mm）、平坦度< 2um。
4、サンプル回転: 0 ~50 rpm、ディスク回転: 0 ~350 rpm、両方とも連続的に実行可能な速度であり、両方とも前進/後進が可能です。
5、最大除去：10mm、解像度：1um、安定した精度：+2um。
6、サーボドライブモーター（750 W）は、長寿命で安定した高トルク出力を永続的に提供します。
7、自動温度感知冷却ファンを内蔵し、故障率を低減し、耐用年数を延ばします。
8、大口径の側面排水口で、詰まりにくく、排水が早い。
9、プラグ可能な蛇口、ディスクの清掃やメンテナンスに便利です。
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モデル |
セミPOL |
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作業ディスク |
直径 |
8～10インチ （203/254mm） |
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速度 |
0～350rpm 、継続的に実行可能な速度 |
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方向性 |
時計回り／反時計回り |
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電力 |
750W |
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工場検査 |
平坦度 < 2um |
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サンプル移動ヘッド |
速度 |
0～50rpm 、継続的に実行可能な速度 |
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方向性 |
時計回り／反時計回り |
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回転 |
はい 、調整可能な振幅付き |
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振動 |
はい 振幅と速度は調整可能 |
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工場検査 |
ディスクに対する垂直度 <2um; 平行度 <2um |
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最大除去能力 |
10mm |
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電気 |
電源 |
220VAC |
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パネル |
7インチタッチスクリーン |
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寸法 |
幅x奥行きx高さ |
700x430x580mm |
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重量 |
57kg |
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