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CVD管状炉

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1200℃CVD真空管状炉自動制御電気炉-TF1200 CVD管状炉

1200℃CVD真空管状炉自動制御電気炉-TF1200 CVD管状炉 日本

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Description

TF1200CVD 真空雰囲気管状炉は、主に真空または保護雰囲気下でのサンプルの熱処理のために設計されています。

高品質の炉材料と安定した温度制御システムにより、実験データの信頼性が保証されます。

この製品は、炉の材料として新しいタイプのセラミックファイバー材料を採用しており、炉の管の材料は優れています。

炉管の両端はステンレス鋼のフランジで密閉されており、真空下でも動作できます。フランジには入口ポートと出口ポートがあり、保護ガスを導入することができます。精密ニードルバルブにより吸入流量の調整が可能です。


仕様

モデル。 TF1200-25-12 TF1200-40-12 TF1200-60-12 TF1200-80-12 TF1200-100-12 TF1200-120-12
チューブサイズ Φ25×800mm Φ40×800mm Φ60×800mm Φ80×800mm Φ100×800mm Φ120×800mm
定格温度 1200℃
作業温度 1100℃
加熱ゾーンのサイズ 300 mm
出力 220V / 1.8KW 220V / 1.8KW 220V / 2.6KW 220V / 2.6KW 220V / 2.6KW 220V / 5KW
発熱体 HRE合金抵抗線
炉材 湿式真空濾過成形により製造された多結晶無機アルミナセラミックファイバー素材
管材料 石英管
制御精度 ±1℃
測温素子 N型熱電対
制御機器 インテリジェントマイコンPID温度制御器SCR/SSR制御PIDパラメータセルフチューニング機能30時間プログラム可能加熱・冷却・保温をプログラム可能
加熱速度 1~25℃/分
炉の構造 炉温制御一体構造炉開閉式二重シェル、空気循環断熱
シール性能 炉心管の両端にはステンレス鋼の金属フランジと高温PTFEガスケットが装備されており、真空度≤5paの真空下で動作できます(ロータリーベーン真空ポンプ)。
雰囲気演出 フランジの両端には入口ポートと出口ポートがあります。圧力計は金属フランジに取り付けられており、精密ニードルバルブにより吸排気量を調整でき、窒素、アルゴン、水素などの保護ガスの通過が可能です。
真空システム バイポーラロータリーベーン真空ポンプ5台とデジタル真空計を備えた独立した真空システムを搭載しており、ステンレス製ベローズとバッフルバルブ部品も含まれています。システムの真空度は ≤ XNUMXpa です。分子ポンプユニットもお選びいただけます。
ガスシステム 60つのフロート流量計と混合チャンバーで構成される独立したガス経路システムを装備しており、単一の入口と単一の出口として使用することも、混合後に管状炉システムに入る600つのガス経路として使用することもできます。フロート流量計範囲: 1.5-0.2ml/ min自動質量流量計システムも選択可能制御精度±1%FS繰り返し精度±0%FS範囲:チャンネル100 2-0SCCM、チャンネル200 3-0SCCM、チャンネル500 XNUMX-XNUMXSCCM
作動安全装置 モジュラー制御により、作業プロセス中の過熱と切断に対して音と光の警報信号が発せられ、保護措置が自動的に完了します。
個人用安全装置 装置には気中ブレーカーが設置されており、短絡や漏電が発生した場合に自動的に開き、装置とオペレーターを保護します。
外観 高品質冷間圧延鋼板CNC工作機械切削加工、溶接後、研磨、リン酸塩処理、酸洗浄、表面静電プラスチックパウダー噴霧
標準構成 炉*1;温度コントローラー*1;電源コード(3m)*1;熱電対*1;取扱説明書*1、フック*1;手袋*1組。プラグ*2;シールフランジ*1
オプションのアクセサリ トリプルエア回路制御盤石英容器ロータリーベーン真空ポンプ

競争優位性:

1)工場直送

2)品質保証

3)ベストプライス

4)コンパクトなサイズ

5)完全な仕様

6)サービス保証

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